『无尘室』又称为「洁净室」，是将一定空间范围内之空气的微尘粒子、有害气体、细菌等污染物排除于外，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分佈、噪音振动及照明、静电控制在一定需求范围内，而给予特别设计之房间。也就是说这个受控的房间内之微尘粒子相当稀少。
无尘室环境在现代工业中被广泛应用于半导体晶圆生产、液晶萤幕生产、生化技术、生物技术、精密器械、制药、医院等行业中，尤其以半导体晶圆制程时的要求等级最高，因为现今的晶圆已经都是奈米级的水准，随便一个灰尘掉在晶圆上都可能毁这片晶圆。
无尘室除了管控空气中的微尘粒子之外，还分成正压无尘室与负压无尘室。一般正压无尘室比较常见，就是让室内的空气压力大于室外的压力，这样才可以控制室内空气往外吹以杜绝外部的污染源。
而负压无尘室一般应用在有毒实验室、病理实验室或传染病病房，目的是为了避免实验室或病房中有任何有毒气体或传染病菌不小心传播到大气环境中，所以负压就是为了让室外的空气会往室内吹，然后藉由过滤网将可能受污染的空气过滤，以免让不相干的大众受到感染。
最早时期无尘室的等级参考「美国联邦标准209D规格」，基本上是以一立方英呎含有多少个大于0.5um直径的微尘粒子来定义的，因为当时最小只能补抓到0.5um。后来更新到【FS-209E】，不过此表准于2001年11月废止，而改由ISO-14644规范来取代。
ISO-14644-1无尘室的微尘粒子计算公式
ISO-14644-1之无尘室标准列表
下表为ISO-14644-1之无尘室标准，其单位都是公制，所以跟感觉我们以前习惯的英制FS-209等级及粒子数不太一样，但只要将公制(m3)换算成英制(ft3)就会变得差不多。
| ISO 14644-1 无尘室标准 | ||||||
| 每立方米的粒子数 | ||||||
| 级别 | ≧ 0.1 µm | ≧ 0.2 µm | ≧ 0.3 µm | ≧ 0.5 µm | ≧ 1 µm | ≧ 5 µm |
| ISO 1 | 10 | 2 | ||||
| ISO 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
| ISO 3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
| ISO 4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | |
| ISO 5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 |
| ISO 6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 |
| ISO 7 | 352,000 | 83,200 | 2,930 | |||
| ISO 8 | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 | |||
| ISO 9 | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 | |||
ISO-14644-1与FS-209E无尘室等级比较
| ISO 14644-1等级 | FS-209E等级 |
| m3 | ft3 |
| ISO 3 | Class 1 |
| ISO 4 | Class 10 |
| ISO 5 | Class 100 |
| ISO 6 | Class 1,000 |
| ISO 7 | Class 10,000 |
| ISO 8 | Class 100,000 |
延伸阅读：
软硬复合板(Rigid-flex board)
低湿电子防潮箱协助电路板组装厂解决潮害问题
何谓SMT(Surface Mount Technology)表面贴焊(装)技术?
锂电池没有UN38.3没关系，使用【电池防爆筒】上飞机
贊助商广告
PayPal
欧付宝
访客统计
188金宝搏苹果下载 聊电子制造Podcast
Hi 188金宝搏苹果下载 ,你好
我想询问有关于ISO-14644-1与FS-209E无尘室等级比较
那他们是怎么去做分别的呢? 已知CLASS1000=ISO6
想请教CLASS 1000 0.5um m3(立方公尺) 是35300
但为甚么ISO同样是个同级距但它0.5um m3 却是35200
中间差异100的数值是在哪里呢?谢谢~
Reply
leee,
Sorry! 关于你的问题我没有研究。
Reply
请问无尘室规范有规定多少面积需要设置多少个温湿度计监控吗??
Reply
Rose,
我不清楚这个要求「无尘室规范有规定多少面积需要设置多少个温湿度计监控」。
建议你可以询问无尘室的建造商看有没有资讯。
Reply
你好
请问有哪一份规范提到无尘室空间限制人数??
Reply
Rose,
这个我不清楚。
Reply
你的主旨打错了
应该是ISO 14644
Reply
不好意思打扰了~~想请问有规范定义落尘的量测点是多少*多少间要量测一点吗?
Reply
请问SMT需要做到什么程度的防护
Reply
touchyfc,
这个要看自己的需要，一般都要求可以有100K的环境。
Reply